Vent Gas Recovery (VGR)
Für die Rückgewinnung der Abgase aus CVD-Reaktor und STC-TCS-Konverter
Die centrotherm SiTec Abgasrückgewinnungsanlage (Vent Gas Recovery) wurde für die umweltschonende Produktion von Polysilizium entwickelt. Die Anlage verarbeitet die Abgase aus CVD-Reaktoren und STC-TCS-Konvertern und spaltet sie in drei verschiedene Ströme auf, um sie in drei unterschiedlichen Stufen des Polysilizium-Herstellungsprozesses wiederzuzuführen:
- Wiederherstellung von H2 zur Wiederverwertung im Abscheide- und Konversionsprozess
- Wiederherstellung von HCl zur Wiederverwertung im Rahmen der TCS-Synthese
- Gemisch aus flüssigem Chlorsilan (TCS, STC) für die weitere Aufspaltung in der Destillation und zur Wiederverwertung im Abscheide- und Konversionsprozess
Die centrotherm SiTec Abgasrückgewinnungsanlage kann an jede Produktionskapazität angepasst werden.
Die Abgasrückgewinnungsanlage ermöglicht einen geschlossenen Produktionskreislauf bei der Polysiliziumproduktion und weist höchste Rückgewinnungsraten (> 99 %) für alle Komponenten der Abgasströme auf.
Um eine Verunreinigung während des Prozesses zu verhindern und hochreines Polysilizium zu erhalten, wurden bei der Entwicklung der Anlage hochqualitative Materialien verwendet. Darüber hinaus sichert die Verwendung von Aktivkohle eine sehr reine Rückgewinnung von Wasserstoff.
- Vollintegrierte Abgasrückgewinnungsanlage für die Spaltung von Abgasen
- Höchste Rückgewinnungsraten für alle Abgasgemische (> 99 %)
- Durchschnittlicher Energieverbrauch von 1.650 kW (3.100 kW maximal)
- Optimiertes Design für Kosteneinsparung
- Geringe Investitionskosten
- Garantierte Leistungsparameter
- TÜV-geprüftes Equipment
- Fertigung gemäß kundenspezifischen Standards
- Inbetriebnahme und Start-up erfolgt durch ein erfahrenes Team der centrotherm SiTec
Hinweis: Die centrotherm photovoltaics AG behält sich das Recht vor, die angegebenen Produktspezifikationen jederzeit und ohne Ankündigung zu ändern.
