Schlüsselfertige Lösungen für die Produktion von Silizium, Ingots und Wafern

Unser Portfolio umfasst Engineering- und prozesstechnologische Dienstleistungen sowie Produktionsanlagen für die Fertigung von Silizium, Ingots und Wafern. Was uns auszeichnet, ist fundiertes Know-how und praktische Erfahrung über die gesamte Wertschöpfungskette hinweg.

Unsere Leistungen auf einen Blick:

Consulting

Unsere Beratung reicht von der Planung bis zur Inbetriebnahme von Fabriken für die Siliziumfertigung, umfasst aber ebenso die dazugehörigen Produktionsanlagen für Polysilizium sowie für multikristalline Ingots und für Wafering.

Engineering

Wir erbringen Engineering-Leistungen für den Aufbau von Siliziumfabriken: von der Trichlorsilan-Synthese und Destillation zu höchsten Reinheiten über die Abscheidung und Abgasaufbereitung bis hin zur Multikristallisation und zum Wafering. Immer kommen dabei Qualitätssysteme zum Einsatz, die höchsten Ansprüchen gerecht werden und auch strikte Umweltauflagen erfüllen.

Produktionsanlagen

Wir entwickeln, liefern und installieren Produktionsanlagen: Forschungs- und Trainings-CVD-Reaktoren ebenso wie CVD-Reaktoren und STC-TCS-Konverter für die industrielle Siliziumfertigung, aber auch Wiederaufbereitungsanlagen (Vent Gas Recovery) und Kristallisationsöfen. Alle Produkte zeichnen sich durch niedrigen Energieverbrauch bei gleichzeitig hoher Produktionskapazität aus.

An unserem Stammsitz in Blaubeuren verfügen wir über ein modernes Technikum mit CVD-Reaktor und STC-TCS-Konverter als Test- und Entwicklungsanlage für die Siliziumproduktion. Dort werden Prozesse simuliert und weiterentwickelt. Unseren Kunden steht die Anlage zu Demonstrations- und Trainingszwecken ebenfalls zur Verfügung.